PFMEA的可靠性结构分析比较简单，就是根据工艺流程图以及第一步确定的分析范围画出PFMEA的结构树。

可靠性结构分析是PFMEA分析范围的可视化，也是下一步功能分析的基础。

可靠性结构分析的主要输入是FMEA过程流程图以及FMEA定义的分析范围,如下图

可靠性结构分析一般分为3层，即生产线、工位、5M要素，因此以上过程控制图的FMEA结构可靠性分析如下图.

即最高一层结构是FMEA可靠性生产线，中间一层结构是FMEA可靠性工位，最低一层结构是5M要素。在FMEA上图中，过程项是结构树的别，过程步骤是分析的焦点，过程步骤指制造工站或工位。中间一层的结构也可以是工步而非工位。FMEA可靠性结构分析为3层的可靠性原因主要是每层分别对应可靠性FMEA失效后果/失效模式/失效原因。有时候可能也会出现FMEA可靠性结构分析为4层的情况，但是对于接下来的功能分析以及FMEA可靠性失效分析，仍然需要分为3层。